SJT 31117-1994 15B型磨片机完好要求和检查评定方法
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ID： |
C6613276AF5942B3A56BFA529D8E0379 |
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文件大小(MB)： |
0.17 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,15B型磨片机完好要求和检查,评定方法,SJ/T 31117-94,1主题内容与适用范围,本标准规定了:15B型磨片机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于15B型磨片机和9B型磨片机;其它磨片机亦可参照本标准有关条款执行,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 磨后硅片厚度允差: ±2.5jxm/盘,2.1.2 磨削速率: 3—5,fzm/min,2.1.3 磨盘转速： 5—65,r/min;无级变速,2.1.4 空气压カ设定： 〇.3.8X105Pa,2.1.5 磨片压カ： 5.9><103一9><103卩2;可调,2.1.6 磨片尺寸硅片直径： 2"—6〃,2.1.7 磨片厚度: 0.35—30,mm,2.1.8 磨盘平整度: <50pn,2.2 操作系统,2.2.1 各操作开关,按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.2.2 制动,限位装置齐全,灵敏可靠,2.3 传动系统,2.3.1 修正齿轮,隔离片无明显破损,2.3.2 齿轮传动部份工作正常,定期保养"润滑链条松紧得当,2.3.3 自动加油系统工作良好,离合器等工作正常,齿轮无严重磨损,2.3.4 汽缸及安全机构安装正确,工作可靠,2.3.5 下盘定位正确,保证定位面整洁,2.4 气路系统,2.4.1 气路系统的运动件在规定的各种速度范围内,不应发生振动和显著的冲击,不应有停,滞现象,2.4.2 各电磁接触器、磁力启动器,继电器动作灵敏可靠,2.4.3 气路及真空管道、接头、阀门元件之间联结应牢固,密封良好,无漏气现象,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1,SJ/T 31117-94,下载,2.4.4 各气动阀、手动阀工作正常,开启,关闭灵活.到位工作正常,2.5 电气系统,2. 5.1电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全完整,指示正确可靠。各种线路标志明显,联接,可靠。线路无破损老化,2.5.2电气系统装置齐全,管线完整,性能良好,运行可靠,2. 5.3各种开关动作灵敏,自动保护装置及报警装置齐全,安全可靠,工作灵敏可挙,2.5.4控制器按键操作灵活可靠,2. 5.5面板按钮和操纵杆灵活可靠,2. 5；6自动保护装置、连锁装置齐全,工作正常,2.6安全防护,2. 6.1设备保护盖板、挡尘板齐全,完整无损、牢固、可靠,2.6.2 安全装置定期检查,工作牢固可靠,2.6.3 磨料盘搅拌机工作正常,停机切记放下上盘,2. 6.4外壳、电机接地可靠,2.7维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 用测微仪,千分尺、数显转速表ー米一级直尺、塞尺等检测硅片厚度、磨削速率、暦蘊转,速,3.1.2 对各系统完好要求所列内容,除有参数要求,运用相应测量器具检测外,其余项H在设,备现场采用主观方法进行检査,3.2 评定方法,3. 2.1 主要项目有 2. L 1、2. 1.2、ユ.1. 3、2.1. 4.2.1. 5,2.1. 8。其余为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备ー,3.2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:顾军建、吴正伟、周伟文、顾伟亚,2 —……
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